继今年4月,复旦大学周鹏-刘春森团队于《自然》期刊发表迄今最快的二维闪存原型器件“破晓”后,10月8日,该团队又发表了全球首颗二维-硅基混合架构闪存芯片“长缨(CY-01)”,标志着攻克新型二维信息器件工程化的关键难题。
今年4月,复旦大学团队发表了全球首款基于二维半导体材料的闪存原型器件"破晓",存储速度比传统闪存快100万倍,但与硅材料纳米级别的工艺相比,二维半导体厚度仅为1-3个原子,相当于不到1纳米,制造工艺难度要求极高,如何实现其与现有硅基工艺平台的集成,又不破坏其性能,成为该技术未来能否大规模应用的核心问题。
团队前期经历了5年的探索试错,在单个器件、集成工艺等多点协同攻关,实现了在原子尺度上让二维材料和CMOS衬底的紧密贴合,最终实现超过94%的芯片良率,远超集成电路制造89%良品率的优异线。
接下来,团队计划建立实验基地,与相关机构合作,建立自主主导的工程化项目,并计划用3-5年时间将项目集成到兆量级水平。
编辑: | 余寒静 |
责编: | 陈怡 |
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